(1)是否更换或添加染料; (2)旋涂室的温、湿度是否有明显变化。
(1)旋涂室内的湿度、温度; (2)染料的浓度; (3)下料量及摆臂位置、速度。
①调整洗边正角压力; ②调整下料阀; ③调整针头与盘片的位置和角度; ④增大1段速度; ⑤增大二段时间; ⑥检查Mask。
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