染料片的“彗星”多引起合格率下降如何处理？_考试资料网

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问答题染料片的“彗星”多引起合格率下降如何处理？

参考答案： （1）白片孔切割不好，有PC料碎屑落到白片上，调整冲刀：降低冲切的速度，缩小冲切的延迟时间，加大冲刀的温度；
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1.问答题简述OD的调整有哪些类型？

参考答案：（1）2V增加，则OD升（头比较明显）；
（2）2T增加，则OD升（平等上升）；
（3）3a降低，则...

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2.问答题影响OD的因素有哪些？

参考答案：

（1）旋涂室内的湿度、温度；
（2）染料的浓度；
（3）下料量及摆臂位置、速度。

3.问答题简述恒温恒湿机对旋涂的影响及注意事项。

参考答案：（1）有利于旋涂室内恒定的温湿度；
（2）恒温恒湿机可以用来调整OD；
（3）不太受外界环境影响；<...

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4.问答题简述旋涂稳定的控制。

参考答案：（1）、尽量少开旋涂室的门，控制温湿度；
（2）、旋涂室的温度应对外部环境略高些，基本为30℃。湿度为30%；...

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5.问答题如何调整洗边？

参考答案：

①调整洗边正角压力；
②调整下料阀；
③调整针头与盘片的位置和角度；
④增大1段速度；
⑤增大二段时间；
⑥检查Mask。

6.问答题中孔不圆如何调整？

参考答案：调整下料杆的长短，针头倾斜角度，以及中孔下料位置。

7.问答题怎样解决PO=1？

参考答案：染料的活性组分降低，做好燃料的回收，防止染料的氧化。
降低OD，打磨或更换母盘，降低动静模的模温，检查染料更换...

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8.问答题如何调整PI扫描高？

参考答案：适当地增加OD大小，调整OD曲线，对照超标的位置按照β值的大小来增减相应位置的OD大小。还可以更换新的染料或母盘。另外，...

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9.问答题如何调整旋涂中心孔染料点、旋涂射线和旋涂不圆？

参考答案：（1）针头要与碟片有一定角度，不可以过大。针头与碟片之间的距离要保持好，一般以两张白片厚度为宜，通过旋涂观察。针头的下d...

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10.问答题如何调整OD？

参考答案：增加1、2段时间，增加2段转数，下染料手臂速度可使OD变大，减小3段加速度可使OD变大，反之则变小。