OD值突然发生较大的变化，应检查哪几方面？_考试资料网

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问答题OD值突然发生较大的变化，应检查哪几方面？

参考答案：

（1）是否更换或添加染料；
（2）旋涂室的温、湿度是否有明显变化。

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1.问答题OD值过高如何调整？

参考答案：降低下料杆的摆动速度，降低第二段旋涂时间，加大第三段的加速度。

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参考答案：（1）白片孔切割不好，有PC料碎屑落到白片上，调整冲刀：降低冲切的速度，缩小冲切的延迟时间，加大冲刀的温度；
...

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3.问答题简述OD的调整有哪些类型？

参考答案：（1）2V增加，则OD升（头比较明显）；
（2）2T增加，则OD升（平等上升）；
（3）3a降低，则...

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4.问答题影响OD的因素有哪些？

参考答案：

（1）旋涂室内的湿度、温度；
（2）染料的浓度；
（3）下料量及摆臂位置、速度。

5.问答题简述恒温恒湿机对旋涂的影响及注意事项。

参考答案：（1）有利于旋涂室内恒定的温湿度；
（2）恒温恒湿机可以用来调整OD；
（3）不太受外界环境影响；<...

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6.问答题简述旋涂稳定的控制。

参考答案：（1）、尽量少开旋涂室的门，控制温湿度；
（2）、旋涂室的温度应对外部环境略高些，基本为30℃。湿度为30%；...

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7.问答题如何调整洗边？

参考答案：

①调整洗边正角压力；
②调整下料阀；
③调整针头与盘片的位置和角度；
④增大1段速度；
⑤增大二段时间；
⑥检查Mask。

8.问答题中孔不圆如何调整？

参考答案：调整下料杆的长短，针头倾斜角度，以及中孔下料位置。

9.问答题怎样解决PO=1？

参考答案：染料的活性组分降低，做好燃料的回收，防止染料的氧化。
降低OD，打磨或更换母盘，降低动静模的模温，检查染料更换...

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10.问答题如何调整PI扫描高？

参考答案：适当地增加OD大小，调整OD曲线，对照超标的位置按照β值的大小来增减相应位置的OD大小。还可以更换新的染料或母盘。另外，...

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