常用的真空泵浦有几种？适用的抽气范围为何？

离子源使用结束后，机器会自动充入氩气对其冷却，冷却的目的是什么？

何为物理蒸镀？试简述其步骤？

镀膜技术可区分为几类？

刚开机时为什么要预热扩散泵油？在什么情况下扩散泵油会被氧化？

电浆技术在表面技术上的应用有哪些？

膜厚的量测方法有哪些？

CVD化学气相沉积法反应步骤可区分为几个步骤？

机器镀膜结束，没有直接充入大气，而是先冷却，冷却的目的是什么？

电浆辅助VCD系统具有何特色？