问答题

【简答题】离子注入掺杂的优点是什么？写出CMOS集成电路制备工艺中用到的离子注入。

答案：

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【简答题】什么是含Cl氧化，含Cl氧化的好处是什么？

答案：

单晶硅太阳能电池采用（）表面来增加表面积，用沉积Si₃N₄作（）膜来降低入射光的反射，用在扩散层表面氧化生长（）nm的钝化层，改变表面层硅原子价键失配，减少表面复合，提高短路电流。用PECVD法沉积Si₃N₄时，反应中大量的原子H可以降低钝化层与表层硅界面的（）

答案：绒化；减反膜；10~25；介面态