在离子注入中，注入离子与靶原子核碰撞，将能量传给靶核，离子发生偏转，靶核产生位移。
氧气中携带一定量的水汽，Si在其中被氧化成SiO2的过程。
高温下，硅片与高纯水蒸气反应生成SiO2的过程。
高温下，氧气与硅片反应生成SiO2的过程。
即间隙式杂质，如Na，K，Pb，Ca，Ba，Al等。
只与一个Si原子联结的氧，是少数。
最新试题
试用电导率为102/（Ω·cm），厚1μm的材料设计1kΩ的电阻，设电阻宽1μm，求其长。
MOS器件按比例缩小后对器件特性有什么影响？
规定版图几何设计规则的意义是什么？
从天然硅中获得达到生产半导体器件所需纯度的SGS要经过（）等步骤。
版图DRC、ERC和LVS的意义是什么？
晶体管的名字取自于（）和（）两词。
MOS器件存在哪些二阶效应？
说明MOS器件噪声的来源、成因及减小方法。
版图设计的基本前提是什么？
由硅片生产的半导体产品，又被称为（）。
