P15手扑如何调整？_考试资料网

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问答题P15手扑如何调整？

参考答案： 将盘片套在P15手指上，把手指打开OPEN状态，调整顶丝使后指张开松紧适度，锁紧顶丝即可。

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1.问答题溅镀机不抽真空怎么办？

参考答案：先清洁溅镀仓，再手动抽预抽泵和分子泵，看能否达到。如能达到即可。

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4.问答题如何调整SA？

参考答案：将SA处在传出位置，把SA校正盘放在SApin上，松开SApin使SA校正盘转动灵活，将SApin锁紧，SA校正是转动仍...

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5.问答题当溅镀机报警阴极短路时，操作员应如何处理？

参考答案：将溅镀机泄真空，将靶材取出，清洁阴极更换大、小mask。

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8.问答题8.0线UV灯不亮，应怎样处理？

参考答案：先检查灯管是否炸裂，如正常将QF9关闭再合上，重新初始化。

9.问答题溅镀机在运行当中，报警短路并不溅镀应立即做哪些工作？

参考答案：立即停机检查mask是否有银屑脱落，主仓是否清洁。

10.问答题8.0的两个下胶手有一个下胶量不足是什么原因？

参考答案：不足的一侧应该是使用桶到大胶阀管路堵塞。一般为下胶管与加热器连结处。