简述离子注入机的各部分工作原理？_考试资料网

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问答题简述离子注入机的各部分工作原理？

参考答案： 离子注入机主要由离子源、分析磁体、加速聚焦器、扫描偏转系统、靶室及终端台和真空系统6大部分组成。
1）离子源的...

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