单项选择题光刻技术中的反刻工艺,通常应用于()的情况。

A.对光刻精度较高
B.光刻图案密度较高
C.光刻的材料易于腐蚀
D.光刻的材料难以腐蚀


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1.单项选择题在CMOS工艺中,最为昂贵的步骤是:()

A.腐蚀
B.离子注入
C.光刻
D.CVD

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