在27-270Pa压力下进行化学气相淀积。
气相淀积在1个大气压下进行。
一种或数种物质的气体,以某种方式激活后,在衬底发生化学反应,并淀积出所需固体薄膜的生长技术。
利用带有电荷的离子在电场中加速后具有一定动能的特点,将离子引向欲被溅射的靶电极。
在直流稳定电场作用下产生的气体放电现象。
低于材料熔化温度时,产生蒸汽的过程。
在一定的温度下,真空室内蒸发物质的蒸气与固态或液态平衡时所表现出来的压力。
利用蒸发材料在高温时所具有的饱和蒸气压进行薄膜制备。
利用某种物理过程,例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移,即原子或分子由源转移到衬底表面上,并淀积成薄膜。
就是快速退火,即降低退火温度,或者缩短退火时间完成退火。
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