RF激活气体分子（等离子体），使其在低温（室温）下发生化学反应，淀积成膜。

在27-270Pa压力下进行化学气相淀积。

气相淀积在1个大气压下进行。

一种或数种物质的气体，以某种方式激活后，在衬底发生化学反应，并淀积出所需固体薄膜的生长技术。

利用带有电荷的离子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向欲被溅射的靶电极。

在直流稳定电场作用下产生的气体放电现象。

低于材料熔化温度时，产生蒸汽的过程。

在一定的温度下，真空室内蒸发物质的蒸气与固态或液态平衡时所表现出来的压力。

利用蒸发材料在高温时所具有的饱和蒸气压进行薄膜制备。

利用某种物理过程，例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移，即原子或分子由源转移到衬底表面上，并淀积成薄膜。