什么是选择性外延，名词解释定义是？

名词解释选择性外延

是指利用外延生长的基本原理以及硅在绝缘体上很难核化成膜的特性，在硅表面指定区域生长外延层而其他区域不生长的技术。

1.名词解释SOI

绝缘层上进行硅的异质外延。

2.名词解释SOS

蓝宝石上硅或者尖晶石的衬底上进行硅的异质外延。

3.名词解释分子束外延（MBE）

在超高真空下，利用薄膜组分元素受热蒸发所形成的原子或分子数，直接射到沉底表面，形成外延层。

4.名词解释自掺杂效应

5.名词解释扩散效应

衬底杂质与外延层杂质相互扩散，导致界面处杂志再分布的现象。

6.名词解释异质外延

外延层与沉底的材料不同。

7.名词解释同质外延

外延层与沉底的材料相同。

8.名词解释外延片

生长了外延层的衬底硅片。

9.名词解释外延层

衬底上新生长的单晶层。

10.名词解释外延

在单晶衬底上按衬底晶向生长一层新的单晶薄膜的工艺技术。