什么是外延层，名词解释定义是？_考试资料网

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名词解释外延层

参考答案：

衬底上新生长的单晶层。

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1.名词解释外延

参考答案：

在单晶衬底上按衬底晶向生长一层新的单晶薄膜的工艺技术。

2.名词解释保形覆盖

参考答案：

所有图形上淀积的薄膜厚度相同；也称共性覆盖。

3.名词解释PECVD（等离子增强CVD）

参考答案：

RF激活气体分子（等离子体），使其在低温（室温）下发生化学反应，淀积成膜。

4.名词解释LPCVD（低压CVD）

参考答案：

在27-270Pa压力下进行化学气相淀积。

5.名词解释APCVD（常压CVD）

参考答案：

气相淀积在1个大气压下进行。

6.名词解释化学气相淀积

参考答案：

一种或数种物质的气体，以某种方式激活后，在衬底发生化学反应，并淀积出所需固体薄膜的生长技术。

7.名词解释溅射

参考答案：

利用带有电荷的离子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向欲被溅射的靶电极。

8.名词解释直流辉光放电

参考答案：

在直流稳定电场作用下产生的气体放电现象。

9.名词解释升华

参考答案：

低于材料熔化温度时，产生蒸汽的过程。

10.名词解释饱和蒸气压

参考答案：

在一定的温度下，真空室内蒸发物质的蒸气与固态或液态平衡时所表现出来的压力。