在气相外延生长过程中，有两步： 质量输运过程－－反应剂输运到衬底表面 表面反应过程－－在衬底表面发生化学反应释放出硅原子
最新试题
注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）
鸟嘴效应造成的不良影响有（）。
进行沟槽填充常用的金属材料是（）。
掺杂后退火时间一般在（）。
多层陶瓷基板多层化的方法包括（）。
当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。
互连工艺中AL的制备可选用（）。
进行光刻工艺前的清洗步骤是（）。
光刻工艺的特点包括（）。
金属化中可选用的金属材料有（）。
