当旋涂第二机械手不取片应检查什么？

问答题当旋涂第二机械手不取片应检查什么？

1.问答题旋涂机手臂不动作如何处理？

（1）手臂做home回原点；关闭控制手臂空开，做home。
（2）关闭PLC，重新做原点。

2.问答题旋涂机手臂抓不住盘片如何处理？

（1）检查手臂吸嘴是否正常；
（2）手臂位置是否正确；
（3）手臂真空是否正常。

3.问答题7.0旋涂碗电机不转有哪些原因？

（1）盘片吸真空不好；
（2）电机不转，没电或坏；
（3）电机驱动器故障。

4.问答题如何更换Arm手臂的吸碟头？

5.问答题烘炉Arm手臂放片不好，如何调整？

6.问答题旋涂碗不转，如何处理？

7.问答题旋涂碗上方的看碟电眼（看有碟无碟），一直常亮对吗？

8.问答题当旋涂机报警冷却梁输入arm手放碟出错怎么调整？

9.问答题如何判定染料片洗边是否完美？

10.问答题当碟片出现旋涂不良时应怎样处置？

（1）调整下料手臂位置及运动速度；
（2）调整伺服电机转速；
（3）调整染料下料量及时间。