鸟嘴效应造成的不良影响有（）。

当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。

下面哪个选项不是集成电路工艺用化学气体质量的指标？（）

进行光刻工艺前的清洗步骤是（）。

光刻工艺的设备核心是（）。

光刻工艺的特点包括（）。

掺杂后退火时间一般在（）。

常压的硅外延方法有（）。

新的平坦化方法有哪几个？（）

化学机械抛光液的主要成分不包括的是哪个？（）