什么是离子注入的沟道效应，名词解释定义是？

名词解释离子注入的沟道效应

当离子沿晶轴方向入射时，大部分离子将沿沟道运动，不会受到原子核的散射，方向基本不变，可以走得很远。

1.名词解释离子注入的晶格损伤

2.名词解释级联碰撞

3.名词解释光刻胶

又称光致抗蚀剂，由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。

4.名词解释驻波效应

5.名词解释玻璃回流

是升高温度的情况下给掺杂氧化硅加热，使它发生流动。

6.名词解释填充薄膜

是指用金属薄膜填充通孔，以便在两金属层之间形成电连接。

7.名词解释通孔

是指穿过各种介质从某一金属到毗邻的另一金属层形成电通路的开口。

8.名词解释接触

是指芯片内的器件与第一层金属之间在硅表面的连接。

9.名词解释互连意

指由导电材料，如铝、多晶硅或铜制的连线将电信号传输到芯片的不同部分。也被用做芯片上器件和整个封装之间普通的金属连接。

10.名词解释旋涂膜层

是在硅片表面上旋涂不同液体材料以获得平坦化的一种技术，主要用作层间介质。