为什么使用外延生长难以得到突变结？_考试资料网

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问答题为什么使用外延生长难以得到突变结？

参考答案： 通常希望外延层和衬底之间界面处的掺杂浓度梯度很陡，但是由于高温下进行外延生长，衬底中的杂质会进入外延层，使得外延层和衬底...

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