当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。

光刻工艺对准误差包括（）。

消除鸟嘴效应的方法有（）。

光刻工艺的特点包括（）。

刻蚀工艺可以和以下哪个工艺结合来实现图形的转移？（）

新的平坦化方法有哪几个？（）

下面哪个选项不是集成电路工艺用化学气体质量的指标？（）

如下哪个选项不是半导体器件制备过程中的主要污染物？（）

刻蚀过程中聚合物形成的来源有（）。

影响封装芯片特性的温度有（）。