集成电路技术章节练习(2019.03.01)

来源:考试资料网
1.名词解释扩散的宏观机制
参考答案:扩散是微观粒子做无规则热运动的统计结果,这种运动总是由粒子浓度较高的地方向浓度低的地方进行,而使得粒子的分布逐渐趋于均匀...
2.名词解释LOCOS
参考答案:

局部氧化工艺。

参考答案:

源漏之间的距离、沟道宽度、开启电压、栅绝缘氧化层的厚度、栅绝缘层的介电常数、载流子的迁移率

4.问答题什么是图元?
参考答案:

图元:工艺能够制造的有源元件和无源元件的版图作为工艺图形单元

参考答案:使用镀银铜线减小高频电阻;用多股的绝缘线代替具有同样总截面的单股线减小肌肤效应;使用介质损耗小的高频陶瓷为骨架减小介质损...
7.名词解释阈值曝光量
参考答案:

使胶膜完全溶解所需最小的曝光量。

8.名词解释分辨率R
参考答案:

是对光刻工艺可以到达的最小光刻圆形尺寸的一种描述。

参考答案:去掉两端;径向研磨;硅片定位边和定位槽
参考答案:

N沟道FET的速度将比P沟道FET快2.5倍