1.反应产物是挥发性的; 2.选择比率高; 3.刻蚀速率快; 4.具有好的终点灵敏性; 5.有好的各向异性刻蚀速率。
免可控硅效应的方法从()寄生管的总增益,以及消除寄生晶体管出发,主要有: 1. (); 2. (); 3. 使用可以吸收注入电荷的(); 4. (); 5. 最可靠的是(),可以消除所有寄生元件的产生。
最新试题
硅暴露在空气中,在室温下即可产生二氧化硅层,厚度约为()。
IC集成度和性能得以不断提高的理论基础是()。
硅烷法制备高纯硅的步骤不包括哪一项?()
掺杂后退火时间一般在()。
光刻工艺对准误差包括()。
多层陶瓷基板多层化的方法包括()。
当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层,开始形成连续非晶层的注入剂量称为()。
消除鸟嘴效应的方法有()。
厚膜电阻的成分,一是导体颗粒,二是()。
鸟嘴效应造成的不良影响有()。