简述离子注入的优缺点_考试资料网

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问答题简述离子注入的优缺点

参考答案： 优点：精确控制杂质含量、很好的杂质均匀性、对杂质穿透深度有很好的控制、产生单一离子束、低温工艺、注入的离子能穿过薄膜、无...

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参考答案：

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参考答案：

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