按比例缩小:芯片上的器件尺寸相应缩小是按比例进行的 重要性:为了优电学性能,多有尺寸必须同时减小或按比例缩小。
硅片是指由单晶硅切成的薄片;芯片也称为管芯(单数和复数芯片或集成电路);硅圆片通常称为衬底。
最新试题
光刻工艺的设备核心是()。
硅烷法制备高纯硅的步骤不包括哪一项?()
硅暴露在空气中,在室温下即可产生二氧化硅层,厚度约为()。
互连工艺中AL的制备可选用()。
下面哪个选项不是集成电路工艺用化学气体质量的指标?()
刻蚀过程中聚合物形成的来源有()。
进行光刻工艺前的清洗步骤是()。
掺杂后,退火的目的是()。
常压的硅外延方法有()。
光刻工艺对准误差包括()。