进行光刻工艺前的清洗步骤是（）。

当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。

金属化中可选用的金属材料有（）。

注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）

光刻工艺的特点包括（）。

多层陶瓷基板多层化的方法包括（）。

下面哪道工序主要是针对晶圆切割之后在显微镜下进行晶圆r的外观检查，是否有出现废品？（）

掺杂后，退火的目的是（）。

湿氧氧化采用的氧化水温是（）。

消除鸟嘴效应的方法有（）。