金属化中可选用的金属材料有（）。

下面哪些元素属于半径较小的杂质原子？（）

当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。

封装工艺中，银浆固化的温度为（）。

鸟嘴效应造成的不良影响有（）。

碳纳米管场效应晶体管是未来晶体管发展趋势之一。

掺杂后退火时间一般在（）。

光刻工艺的特点包括（）。

光刻工艺对准误差包括（）。

掺杂后，退火的目的是（）。