根据下图给出的一氧化工艺的菜单实例,试说明: (1)该工艺采用的氧化方法 (2)每一步骤的具体作用(或状态) (3)氮气在整个工艺流程中的作用 (4)工艺过程中加入HCl的主要作用
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列出并解释替位杂质在硅中的三种主要扩散机制。
二极管存在最高工作频率是因为PN 结有电容效应。
在P 型半导体中,空穴浓度大于自由电子浓度。
发射区推进效应
与多数载流子相比,少数载流子的浓度受温度影响大。
举例说明什么是同型掺杂和反型掺杂及各自的目的。
试说明半导体制造中扩散工艺的主要目的。列出并解释实际扩散工艺的主要步骤,并说明个步骤的主要作用和工艺温度。
结电容是常量。
淀积扩散主要受哪些因素的控制?
试说明扩散工艺中常用的扩散掺杂方法,并说明当前实际工艺中使用的主要方法及理由。