最新试题
光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处?
刻蚀工艺有哪两种类型?简单描述各类刻蚀工艺。
例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。
在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?
描述化学机械平坦化工艺。
例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。
解释扫描投影光刻机是怎样工作的?扫描投影光刻机努力解决什么问题?
定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率?
什么是阻挡层金属?阻挡层材料的基本特征是什么?哪种金属常被用作阻挡层金属?
描述电子回旋共振(ECR)。