化学机械抛光液的主要成分不包括的是哪个？（）

CMP的设备构成包括（）。

当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。

消除鸟嘴效应的方法有（）。

互连工艺中AL的制备可选用（）。

刻蚀工艺可以和以下哪个工艺结合来实现图形的转移？（）

鸟嘴效应造成的不良影响有（）。

注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）

硅烷法制备高纯硅的步骤不包括哪一项？（）

三光检查主要是检查芯片粘贴和引线焊接之后有无各种废品。