当离子沿晶轴方向入射时,大部分离子将沿沟道运动,不会受到原子核的散射,方向基本不变,可以走得很远。
是指用金属薄膜填充通孔,以便在两金属层之间形成电连接。
加热蒸发源,使原子或分子从蒸发源表面逸出,形成蒸汽流并入射到硅片(衬底)表面,凝结形成固态薄膜。
高分辨率;高灵敏光刻胶;低缺陷;精密的套刻对准。