从天然硅中获得达到生产半导体器件所需纯度的SGS要经过（）等步骤。

试述两种传输线电感，比较其优缺点。

规定版图几何设计规则的意义是什么？

利用2μm×6μm的多晶硅栅极覆盖在4μm×12μm薄氧化层的正中间构成一个MOS管，已知Cox＝5×10-4pF/μm2，估算栅极电容。

MOS器件按比例缩小后对器件特性有什么影响？

硅半导体工艺中的绝缘材料主要来源于硅自身产生的（）材料等。

集成电路电阻可以通过（）产生。

由于衬底材料的缘故会自动产生电容，这种电容称为（）。

材料根据流经材电流的不同可分为三类（）。

说明MOS器件噪声的来源、成因及减小方法。