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【简答题】简述双重镶嵌铜互连技术的几个挑战及双镶嵌铜互连工艺流程
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①高深宽比的金属层间接触孔需要点击一层铜阻挡层以防止铜扩散,这个阻挡层需要良好的侧壁和底层阶梯覆盖、优...
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答案:
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