1.反应产物是挥发性的; 2.选择比率高; 3.刻蚀速率快; 4.具有好的终点灵敏性; 5.有好的各向异性刻蚀速率。
免可控硅效应的方法从()寄生管的总增益,以及消除寄生晶体管出发,主要有: 1. (); 2. (); 3. 使用可以吸收注入电荷的(); 4. (); 5. 最可靠的是(),可以消除所有寄生元件的产生。
最新试题
互连工艺中AL的制备可选用()。
碳纳米管场效应晶体管是未来晶体管发展趋势之一。
注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关?()
下面哪些元素属于半径较小的杂质原子?()
刻蚀工艺可以和以下哪个工艺结合来实现图形的转移?()
鸟嘴效应造成的不良影响有()。
CMP的设备构成包括()。
如下哪个选项不是半导体器件制备过程中的主要污染物?()
新的平坦化方法有哪几个?()
化学机械抛光液的主要成分不包括的是哪个?()