单项选择题下面哪种方式也称为湿法去胶?()

A.等离子去胶
B.溶剂去胶
C.氧化去胶
D.三氯乙烯去胶


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1.单项选择题

下图属于什么光刻机?()

A.接触式光刻机
B.步进扫描光刻机
C.分布重复光刻机
D.接近式光刻机

2.单项选择题对于0.25um及以下的隔离技术采用以下()方式。

A.局部氧化隔离
B.PN结隔离
C.PN结-介质隔离
D.浅槽隔离

3.单项选择题WCVD工艺第一步是()。

A.浸润
B.成核
C.BULK
D.直接反应

4.单项选择题Liner barrier阻挡金属间扩散作用的金属是()。

A.金属Al
B.金属钛
C.金属氮化钛
D.金属钨

5.单项选择题掺氯氧化使用的HCL是()。

A.液态源
B.固态源
C.气态源

7.单项选择题以下哪项不是STI工艺气体?()

A.SiH4
B.O2
C.N2O
D.Ar

8.单项选择题CMP清洗部分的顺序是()。

A.兆声清洗(Meg)-SRD(甩干)-Brush(刷洗)
B.兆声清洗(Meg)-Brush(刷洗)-SRD(甩干)
C.Brush(刷洗)-兆声清洗(Meg)-SRD(甩干)
D.Brush(刷洗)-SRD(甩干)-兆声清洗(Meg)

9.单项选择题高电流注入机的扫描方式为()。

A.静电扫描
B.机械扫描
C.静电扫描与机械扫描结合

10.单项选择题下列选项属于BF3的特性的是()

A.黄色标识,有白烟
B.红色标识,臭大蒜味道
C.黑色标识,无色大蒜味