单项选择题下面选项中硅片减薄技术正确的是()。
A.干式抛光技术
B.切割技术
C.热压技术
D.光刻技术
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6.单项选择题下列不是集成电路封装装配方式的是()。
A.通孔插装
B.直插安装
C.表面组装
D.直接安装
9.单项选择题在超大规模集成电路工艺中,一般只采用()。
A.负胶
B.正胶
C.光刻胶
10.单项选择题光刻要求晶圆片表面存在的图案与掩膜版上的图形对准,此特性指标称为()。
A.套准精度
B.特征尺寸
C.分辨率
D.工艺宽容度
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AUBM的形成可以采用()方法。
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