最新试题
光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处?
例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。
描述RF溅射系统。
例举双大马士革金属化过程的10个步骤。
解释发生刻蚀反应的化学机理和物理机理。
离子源的目的是什么?最常用的离子源是什么?
在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?
什么是掺杂?例举四种常用的掺杂杂质并说明它们是n型还是p型?
例举离子注入设备的5个主要子系统。
解释扫描投影光刻机是怎样工作的?扫描投影光刻机努力解决什么问题?