刻蚀工艺有哪两种类型？简单描述各类刻蚀工艺。

解释什么是暗场掩模板？

解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？

给出投影掩模板的定义。投影掩模板和光掩模板的区别是什么？

描述RF溅射系统。

定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？

什么是阻挡层金属？阻挡层材料的基本特征是什么？哪种金属常被用作阻挡层金属？

描述化学机械平坦化工艺。

什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？

什么是掺杂？例举四种常用的掺杂杂质并说明它们是n型还是p型？