解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？

例出光刻的8个步骤，并对每一步做出简要解释。

给出投影掩模板的定义。投影掩模板和光掩模板的区别是什么？

解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么？

例举双大马士革金属化过程的10个步骤。

例举并讨论引入铜金属化的五大优点。

例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。

描述RF溅射系统。

什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？

例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。