例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。

光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？

描述曝光波长和图像分辨率之间的关系。

哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。

解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？

什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？

描述化学机械平坦化工艺。

什么是结深？

解释正性光刻和负性光刻的区别？为什么正胶是普遍使用的光刻胶？最常用的正胶是指哪些胶？

解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么？