定义刻蚀选择比。干法刻蚀的选择比是高还是低？高选择比意味着什么？

离子源的目的是什么？最常用的离子源是什么？

例出光刻的8个步骤，并对每一步做出简要解释。

描述曝光波长和图像分辨率之间的关系。

什么是结深？

光学光刻中影响图像质量的两个重要参数是什么？

例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。

在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么？

解释发生刻蚀反应的化学机理和物理机理。

例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。