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判断题在热氧化过程的初始阶段，二氧化硅的生长速率由氧化剂通过二氧化硅层的扩散速率决定，处于线性氧化阶段。

参考答案：错

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参考答案：对

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参考答案：

①填隙式扩散
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③填隙-替位式扩散